干式螺桿真空泵詳細(xì)說(shuō)明
比較好的極限壓力完全無(wú)油無(wú)水 ??干式螺桿真空泵使用了獨(dú)特的螺桿轉(zhuǎn)子型線，動(dòng)力節(jié)省30％，排氣溫度低，工藝穩(wěn)定，此產(chǎn)品適用于各種領(lǐng)域的真空工藝，也維持了比較好的真空效率和耐用性。 ??不使用油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態(tài)混合工藝，非常適合干燥，溶劑回收，化工，制*，塑料等各種真空工藝。???????? ***及特征: ???吸入效率（提升15％）。 ???排氣效率改善（2級(jí)可變，連續(xù)可變頻率）。 ???極限壓力：1*10-2Torr（托）。 ???排氣溫度降低50％。 ???電力消耗減少30％。 ?? ?不使用油和水，不會(huì)造成油和水的污染。 ???低功耗、低噪音、低振動(dòng)，動(dòng)平衡好，沒(méi)有慣性力，可高速運(yùn)行。 ???設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易保養(yǎng)，維修費(fèi)用低，沒(méi)有易損件，壽命長(zhǎng)。 ???適用范圍廣，具有高真空性能。 ???使用壽命長(zhǎng)，氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層。 ???不采用機(jī)械密封，密封部件無(wú)污染，不會(huì)因污染而頻繁發(fā)生故障。 ???前后采用稀有潤(rùn)滑方式，提高軸承耐用性。 干式螺桿泵的應(yīng)用范圍： ??在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用，主要有半導(dǎo)體等離子增強(qiáng)氣相沉淀（PECVD）和反映離子刻蝕（RIE）工藝，液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿（PLASMA）的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護(hù)工件免受污染。 ??在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或**氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。 ??制*行業(yè)，用于**的真空干燥，**中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造***提供清潔無(wú)菌條件等。 ??化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收**，多元醇等工藝 ??工業(yè)排氣；集中式真空處理系統(tǒng) ??擠出機(jī)的混合工藝及板材的排氣工藝 ??混合樹(shù)脂脫腥工藝在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物。 ??涉及無(wú)憂污水真空處理的所有應(yīng)用 ??食品行業(yè)用于香料，香精濃度，食品包裝等。
