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雙束聚焦離子束樣品制備(Dual-beam FIB)：
iST宜特建置業(yè)界相當(dāng)高階FEI Helios 450S機(jī)臺(tái)及FEI Helios 600機(jī)臺(tái)，采三班制24小時(shí)運(yùn)作，提供客戶快速交期的高質(zhì)量服務(wù)。
Dual-beam FIB機(jī)臺(tái)能在以離子束切割樣品時(shí)，同時(shí)用電子束對(duì)斷面進(jìn)行觀察。宜特所建置的業(yè)界相當(dāng)高階機(jī)臺(tái)，具備超高分辨率的離子束及電子束。能針對(duì)樣品中的微細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行奈米尺度的定位及觀察，大幅提升失效分析及TEM樣品制備的成功率與影像質(zhì)量。
雙束型聚焦離子束顯微鏡的應(yīng)用，主要以下列所述為主：
半導(dǎo)體組件故障分析(能力可達(dá)20nm高階制程)
半導(dǎo)體生產(chǎn)線制程異常分析
磊晶與薄膜結(jié)構(gòu)分析
電位對(duì)比測(cè)試
穿透式電子顯微鏡試片制作
奈米級(jí)結(jié)構(gòu)制作
關(guān)于宜特：
iST始創(chuàng)于1994年的中國(guó)臺(tái)灣，主要以提供集成電路行業(yè)可靠性驗(yàn)證、材料分析、失效分析、無線認(rèn)證等技術(shù)服務(wù)。2002年進(jìn)駐上海，全球現(xiàn)已有7座實(shí)驗(yàn)室12個(gè)服務(wù)據(jù)點(diǎn)。目前已然成為深具影響力之芯片驗(yàn)證第三方實(shí)驗(yàn)室。
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雙束聚焦離子束樣品制備(Dual-beam FIB)
